用于生产硅锭的设备和方法

摘要

本发明提供了用于生产硅锭的设备和方法，如硅锭的无坩埚生产的设备和方法，其中，具有籽晶层和液体层的支撑件在具有垂直梯度的温度场中逐渐下降，从而以受控的方式凝固液体层。

主权项

一种用于生产锭的设备，其包括：室，其提供可控的气氛，其中所述室具有在纵向方向上彼此隔开的顶部和底部；可旋转支撑件，其用于支承籽晶层，其中所述可旋转支撑件相对于所述室在所述纵向方向上能移动，至少一个装置，其用于控制在所述室中的给定的生长体积(V_GR)中的温度场，其中，所述温度场具有在所述纵向方向上的温度梯度，以及馈送装置，其用于将材料可控地馈送到所述籽晶层上。