| 发明名称 | 电子器件的印刷制造系统 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种能够实现防止由印刷法产生的尘埃导致的产品不合格、并且能够使电子器件的生产性能提高的电子器件的印刷生产线系统，设有输送室(1)以及多个处理室(6)，该输送室(1)具备供将基材(15)以开放状态单张输送的自走式机器人(111、121)行驶的机器人输送线(100)，在输送室(1)与各个处理室(6)之间设有进行基材(15)的装载以及卸载的基材交接区域(601)，输送室(1)与基材交接区域(601)经由开口部(602)连通，该开口部(602)形成从输送室(1)侧朝向处理室(6)侧的单方向的空气的流动，将输送室(1)内的空气压调整为比基材交接区域(601)的空气压高，从而形成开口部(602)中的单方向的空气的流动。 | ||
| 申请公布号 | CN105849859A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201480070549.6 | 申请日期 | 2014.12.22 |
| 申请人 | 柯尼卡美能达株式会社;株式会社理光;凸版印刷株式会社 | 发明人 | 西真一;近藤均;喜纳修 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 岳雪兰 |
| 主权项 | 一种电子器件的印刷制造系统，其特征在于，设有输送室，该输送室具备供自走式机器人行驶的机器人输送线，该自走式机器人将基材以开放状态单张输送，在所述输送室的至少一侧设有用于在基材上印刷形成电子器件的多个处理室，在所述输送室与各个所述处理室之间，设有进行将基材从所述自走式机器人向所述处理室的装载、以及将基材从所述处理室向所述自走式机器人的卸载的基材交接区域，所述输送室与基材交接区域经由开口部连通，通过该开口部能够进行所述基材的装载以及卸载，并且该开口部形成从所述输送室侧朝向处理室侧的单方向的空气的流动，将所述输送室内的空气压调整为比所述基材交接区域的空气压高，从而形成所述开口部中的所述单方向的空气的流动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||