晶圆表面颗粒物的缺陷检测系统及其工作方法

摘要

本发明提供一种晶圆表面颗粒物的缺陷检测系统及其工作方法，所述缺陷检测系统包括：晶圆扫描装置，用于对晶圆背面的颗粒进行扫描；晶圆翻转装置，用于对晶圆进行翻转，使得晶圆背面向上，以供所述晶圆扫描装置进行扫描；光学目检装置，用于对晶圆背面的颗粒进行目检；晶圆传输装置，用于在所述晶圆扫描装置、晶圆翻转装置和光学目检装置之间传输晶圆。该系统能丢晶圆背面的缺陷进行自动目检，让晶背缺陷扫描目检更自动化、全面化，减少人工操作对晶圆的损坏。

主权项

一种晶圆表面颗粒物的缺陷检测系统，其特征在于，包括：晶圆扫描装置，用于对晶圆背面的颗粒进行扫描；晶圆翻转装置，用于对晶圆进行翻转，使得晶圆背面向上，以供所述晶圆扫描装置进行扫描；光学目检装置，用于对晶圆背面的颗粒进行目检，包括控制模块，所述控制模块设定对晶圆的背面检测的规则为缺陷尺寸从大到小，光学显微镜放大倍率为自动调节；晶圆传输装置，用于在所述晶圆扫描装置、晶圆翻转装置和光学目检装置之间传输晶圆。