| 发明名称 | 衬底处理系统中用作硬掩模的无定形碳和硅膜的金属掺杂 | ||
| 摘要 | 本发明涉及衬底处理系统中用作硬掩模的无定形碳和硅膜的金属掺杂。用于沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜或金属掺杂的无定形硅硬掩模膜的系统和方法包括：将衬底布置在处理室中；供给载气至所述处理室；供给烃前体气体或硅前体气体至所述处理室；供给基于金属的前体气体至所述处理室；使等离子体在所述处理室产生或供给等离子体到所述处理室中的一者；以及分别在所述衬底上沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜或金属掺杂的无定形硅硬掩模膜。 | ||
| 申请公布号 | CN105845551A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201610078060.4 | 申请日期 | 2016.02.03 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 法亚兹·谢赫;西丽斯·雷迪;爱丽丝·霍利斯特 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 樊英如;李献忠 |
| 主权项 | 一种用于沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜的方法，其包括：将衬底布置在处理室中；供给载气至所述处理室；供给烃前体气体至所述处理室；供给基于金属的前体气体至所述处理室；使等离子体在所述处理室产生或供给等离子体到所述处理室中的一者；以及在所述衬底上沉积金属掺杂的无定形碳硬掩模膜。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||