减少具有电路的结构中的翘曲

摘要

为了减少晶片的至少一个区域的翘曲，形成应力/翘曲管理层(810)以使现有翘曲过平衡并改变方向。例如，如果该区域的中间相对于该区域的边界向上膨胀，则该区域的中间可能变得向下膨胀，或反之亦然。然后对应力/翘曲管理层进行处理以减小过平衡。例如，可以在选定位置处将应力/管理层从晶片剥离，或者可以在该层中形成凹部，或者可以在该层中引起相变。在其他实施例中，该层是钽铝层，其可以使或可以不使翘曲过平衡；据信该层由于依赖晶相的应力而减少了翘曲，该应力动态地调节以适应温度变化，从而减少翘曲(可能通过热循环来保持晶片平整)。还提供了其他特征。

主权项

一种制造方法，包括：获得包括电路的第一结构，所述第一结构包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面和第二表面中的至少一者包括翘曲的第一区域；在所述第一表面上形成第一层以使所述第一区域的翘曲过平衡；以及处理所述第一层以减少所述第一区域的翘曲。