发明名称 |
一种光刻设备对准系统 |
摘要 |
本发明提出一种光刻设备对准系统,包括照明支路以及相干成像支路,其特征在于:所述照明支路包括双光源、光源混合器、光纤、消色差准直透镜、偏振分束器、照明透镜和对准标记;所述相干成像支路包括第一光束支路和第二光束支路,第一光束支路和第二光束支路都包括楔板、成像透镜、参考光栅以及探测器,衍射光中的第一光束返回偏振分束器后直接透过,经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上,探测器接收扫描信号进行对准,衍射光中的第二光束返回偏振分束器后被反射从而与第一光束分离,再经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上,探测器接收扫描信号进行对准。本发明将两束进光混合成一束光束且同轴照明标记,消除两束光之间的相对倾斜。不仅简化了系统,且提高了对准精度和工艺适应性。 |
申请公布号 |
CN104062859B |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201310090951.8 |
申请日期 |
2013.03.21 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
发明人 |
蓝科;李运锋;徐荣伟;王诗华 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种光刻设备对准系统,包括照明支路以及相干成像支路,其特征在于:所述照明支路包括双光源、光源混合器、光纤、消色差准直透镜、偏振分束器、照明透镜和对准标记,双光源分别发出偏振态相互垂直的第一光束和第二光束,两束光经过光源混合器进行合光,再经过光纤和消色差准直透镜准直后形成同轴照明光束,同轴照明光束经过小棱镜反射后先进入偏振分束器,被偏振分束器反射后进入照明透镜,再照射到对准标记形成衍射光,衍射光返回偏振分束器;所述相干成像支路包括第一光束支路和第二光束支路,第一光束支路和第二光束支路都包括楔板、成像透镜、参考光栅以及探测器,衍射光中的第一光束返回偏振分束器后直接透过,经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上,探测器接收扫描信号进行对准,衍射光中的第二光束返回偏振分束器后被反射从而与第一光束分离,再经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上,探测器接收扫描信号进行对准。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |