多晶硅铸锭炉的加热系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的加热系统，所述铸锭炉包括：炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温护罩，保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于石墨护罩底部的散热平台；加热系统还包括对应坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器，坩埚的中部设置有对应中心平板加热器的中心平板加热槽，中心平板加热器设置在所述中心平板加热槽内。该实用新型升级改造后的加热系统由于在坩埚的中间位置引入平板加热，即能够实现中间位置硅料的快速加热，且由于平板结构设置而减少了后续切割余料的产生，极大提高了生产效率及产品合格率。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的加热系统，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述加热系统还包括对应所述坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器，所述坩埚的中部设置有对应所述中心平板加热器的中心平板加热槽，所述中心平板加热器设置在所述中心平板加热槽内。