| 发明名称 | 感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种感光性转印材料、图案形成方法及蚀刻方法，所述感光性转印材料包括支撑体与感光性树脂组合物层，前述感光性树脂组合物层含有(A)包含聚合物的聚合物成分及(B)光酸产生剂，所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，且前述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构，所述感光性转印材料为正型，且耐热矩形性优异、耐蚀刻剂性优异、抗蚀剂剥离性优异、加工时的扬尘少。 | ||
| 申请公布号 | CN105849637A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201480069251.3 | 申请日期 | 2014.12.01 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 佐藤守正 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 葛凡 |
| 主权项 | 一种感光性转印材料，所述感光性转印材料包括支撑体与感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层含有(A)包含聚合物的聚合物成分及(B)光酸产生剂，所述聚合物含有具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元(a1)，所述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||