NANOIMPRINTING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING A MOLD

摘要

광경화성 조성물의 휘발은 나노임프린팅 방법에서 잔류 기체를 감소시키는 동안 억제된다. 나노임프린팅 방법은 몰드와 광경화성 조성물층을 밀착시킴으로써 몰드의 요철 형상을 기판에 형성된 광경화성 조성물층 상에 전사하는 것이다. 몰드와 기판 중 하나 또는 모두는 석영으로 형성되어 있다. 몰드와 기판 사이에 10k㎩~90k㎩ 범위 내의 기압을 갖고 또한 적어도 70체적% He를 가진 기체와 함께 밀착시킨다.