一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，涉及半导体清洗设备技术领域，包括转筒装置，动力装置和清洗装置，转筒装置包括扭簧，外筒和内筒，扭簧连接有内筒，内筒连接有外筒，外筒内表面设有超声波装置，外表面设有齿条；动力装置包括动力机滑轨，动力机和动力齿轮，动力机滑轨内连接有动力机，动力机连接有动力齿轮，动力齿轮与齿条连接；本实用新型设有转筒装置和清洗装置，采用先将多晶硅片在碱溶液中浸泡，再在去离子水中往复旋转，利用多晶硅片惯性进行海绵擦洗，并同时采用超声波清洁的清洗方式，清洗效果好，同时海绵具有缓冲作用，避免损伤多晶硅片。

主权项

一种改进型太阳能多晶硅片清洗设备，包括转筒装置(1)和动力装置(2)，其特征在于：还包括清洗装置(3)，所述转筒装置(1)连接有动力装置(2)，所述转筒装置(1)上方设有清洗装置(3)；所述转筒装置(1)包括扭簧(101)，外筒(102)和内筒(103)，所述扭簧(101)连接有内筒(103)，所述内筒(103)连接有外筒(102)，所述外筒(102)内表面设有超声波装置(1021)，外表面设有齿条(1022)；所述动力装置(2)包括动力机滑轨(201)，动力机(202)和动力齿轮(203)，所述动力机滑轨(201)内连接有动力机(202)，所述动力机(202)连接有动力齿轮(203)，所述动力齿轮(203)与齿条(1022)连接。