| 摘要 |
【課題】 接合材におけるボイドや酸化の発生を防止して被接合体の接合体に対する高い接合性を確保する。【解決手段】接合材９３を挟んで接合体９１と被接合体９２が位置される接合ワーク９０において被接合体を接合材によって接合体に接合する部品接合装置３１であって、被覆シート３７に覆われた状態で接合ワークが配置される配置面３２ａを有し少なくとも配置面に開口するエアー排出孔３４が形成されたベース筐体３２を備え、エアー排出孔からの吸引によって被覆シートと配置面の間の空間が真空状態にされたときに、接合ワークが被覆シートに押さえられた状態でヒーター５１が設けられた加圧ヘッド５０により押圧されて加熱及び加圧される。【選択図】図９ |
