工件加热装置及工件处理装置

摘要

本发明涉及一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性对工件进行加热，并且能够进行精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期可靠性良好地进行使用。一种工件加热装置，层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其中，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，并将该工件加热装置载置在基础底座上。

主权项

一种工件处理装置，其是将工件加热装置载置在基础底座上而成的工件处理装置，其特征在于，工件加热装置层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，加热器部件与基础底座相对，并且在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，所述基础底座在内部具有供气体介质流动的管路，并在表面具有与该管路连接的气孔，加热器部件具有与该基础底座的气孔连通的通孔，层叠加热器部件和卡盘部件，使得从基础底座侧被供给的气体介质存在于加热器部件和卡盘部件的界面上。