氟硅酸处理方法及其系统

摘要

本发明提出了氟硅酸处理方法及其系统。其中，氟硅酸处理方法包括：将氟硅酸与二氧化硅混合，并对所得到的混合进行加热蒸发，以便获得四氟化硅气体；将四氟化硅气体与氢气、氧气混合并进行燃烧反应，以得到含有氟化氢和二氧化硅的产物混合物；以及对产物混合物进行气固分离，以便分别获得氟化氢和二氧化硅。利用该方法处理氟硅酸具有低耗、环保、独立性强等优点。

主权项

一种氟硅酸处理方法，其特征在于，包括：将氟硅酸与二氧化硅混合，并对所得到的混合物进行加热蒸发，以便获得四氟化硅气体；将所述四氟化硅气体与氢气、氧气混合并进行燃烧反应，以得到含有氟化氢和二氧化硅的产物混合物；以及对所述产物混合物进行气固分离，以便分别获得氟化氢和二氧化硅，其中，所述氟硅酸折纯量与二氧化硅折纯量的质量比为4.4～8.8：1，将所述四氟化硅气体与氢气、氧气按照1～2：1～1.2：1.5～2的摩尔比进行混合，其中，所述四氟化硅与氢气的摩尔比为≥0.5，所述氧气与氢气的摩尔比为≥0.5。