发明名称 |
一种镀膜机真空室温度自动控制装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种镀膜机真空室温度自动控制装置,包括镀膜机真空室壳体,所述镀膜机真空室壳体的底端连接有底座,所述镀膜机真空室壳体的内腔中设有一空腔,该空腔中安装有控制器和温度传感器,且温度传感器电连接控制器,所述镀膜机真空室壳体的内腔中由下至上分别设有第一加热器、第二加热器和第三加热器。该镀膜机真空室温度自动控制装置通过在每个第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架上都安装有热偶温度检测装置,使得控制器能自动控制加热器的加热效率,从而对工件的不同温度进行调控。 |
申请公布号 |
CN205443440U |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201521109816.4 |
申请日期 |
2015.12.29 |
申请人 |
大连维钛克科技股份有限公司 |
发明人 |
刘野;韩登科 |
分类号 |
C23C14/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/54(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镀膜机真空室温度自动控制装置,包括镀膜机真空室壳体(<b>1</b><b>),所述镀膜机真空室壳体(</b><b>1</b><b>)的底端连接有底座(</b><b>2</b><b>),其特征在于:所述镀膜机真空室壳体(</b><b>1</b><b>)的内腔中设有一空腔,该空腔中安装有控制器(</b><b>7</b><b>)和温度传感器(</b><b>9</b><b>),且温度传感器(</b><b>9</b><b>)电连接控制器(</b><b>7</b><b>),所述镀膜机真空室壳体(</b><b>1</b><b>)的内腔中由下至上分别设有第一加热器(</b><b>3</b><b>)、第二加热器(</b><b>4</b><b>)和第三加热器(</b><b>5</b><b>),所述第一加热器(</b><b>3</b><b>)、第二加热器(</b><b>4</b><b>)和第三加热器(</b><b>5</b><b>)分别电连接控制器(</b><b>7</b><b>),且第一加热器(</b><b>3</b><b>)、第二加热器(</b><b>4</b><b>)和第三加热器(</b><b>5</b><b>)的上侧均设有转架(</b><b>8</b><b>),所述第一加热器(</b><b>3</b><b>)、第二加热器(</b><b>4</b><b>)、第三加热器(</b><b>5</b><b>)和转架(</b><b>8</b><b>)的上表面均安装有热偶温度检测装置(</b><b>6</b><b>),所述热偶温度检测装置(</b><b>6</b><b>)电连接控制器(</b><b>7</b>)。 |
地址 |
116113 辽宁省大连市甘井子区大连湾振兴路200号 |