用于支撑和对准组件的方法及支撑装置

摘要

本发明披露了一种用于安装和对准组件的方法，所述组件在多个支撑点以期望定向被支撑在支撑装置内，其中，所述支撑装置的至少一个变形区的弹性变形被记录，并且根据所述至少一个变形区与期望值的某一偏差，使至少一个支撑点垂直地移动；还披露了一种用于执行上述方法的支撑装置，其具有至少一个弹性可变形的变形区，测量装置，用于记录和评估所述至少一个弹性变形，以及至少一个致动器，用于使支撑点彼此垂直地移动。

主权项

一种用于以期望定向安装和对准组件的支撑装置（2），其具有至少两个轴承支撑件（10）、至少两个轴承头单元（4）和至少两个轴承头接收单元（6）以形成至少两个支撑点（1），其中轴承头单元（4）或者轴承头接收单元（6）被布置在轴承支撑件（10）上，其特征在于，所述支撑装置（2）具有至少一个变形区（36），其在轴承头单元（4）与轴承头接收单元（6）主动接合的过程中能够弹性地变形，并且，所述支撑装置（2）具有至少一个测量装置用于记录和评估所述至少一个变形区（36）的弹性变形，以及至少一个致动器，用于使所述支撑点（1）彼此垂直于所述组件的支撑平面移动。