发明名称 | 试样运送机构和真空装置 | ||
摘要 | 本发明提供试样运送机构和真空装置。该试样运送机构可以在小的空间内容易进行试样运送棒的收纳动作。该试样运送机构(10)具有:试样运送棒(11),其在试样室和预备试样室(4a)内沿着预定方向运送试样;支撑体,其支撑试样运送棒(11);壳体(31),其以能够绕与左右方向垂直的旋转轴(P)旋转的方式支撑所述支撑体(21);以及第3O形环(36),其配置在支撑体(21)与壳体(31)之间,对试样室和预备试样室(4a)进行密封。试样运送棒(11)在能够运送试样的使用状态与通过支撑体(21)的旋转从使用状态移动到沿着上下方向的位置的收纳状态之间能够移动。 | ||
申请公布号 | CN105836403A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
申请号 | CN201610051728.6 | 申请日期 | 2016.01.26 |
申请人 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 发明人 | 荷田昌克;岩堀敏行 |
分类号 | B65G35/00(2006.01)I | 主分类号 | B65G35/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
主权项 | 一种试样运送机构,其具有:试样运送棒,其在真空室的内部沿着预定方向运送试样;支撑体,其支撑所述试样运送棒;壳体,其以能够绕与所述预定方向垂直的旋转轴旋转的方式支撑所述支撑体;以及密封部件,其配置在所述支撑体与所述壳体之间,对所述真空室的内部进行密封,其特征在于,所述试样运送棒能够在使用状态和收纳状态之间移动,其中在所述使用状态下能够运送所述试样,在所述收纳状态下通过所述支撑体的旋转而从所述使用状态移动到预定位置。 | ||
地址 | 日本东京都 |