一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统

摘要

本发明公开了一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统，其包括气源调节单元、信号处理单元和信号反馈单元，气源调节单元包括气源组件、电磁阀组件、电控调压阀组件和气压输出口，气源依次经过气源组件、电磁阀组件和电控调压阀组件，并由气压输出口输出；信号处理单元包括信号处理器、电磁阀控制器和调压阀控制器，信号处理器用于处理控制信号，电磁阀控制器用于控制气路的通断，调压阀控制器用于调节气压；信号反馈单元包括温度传感器和气压传感器组件，其用于将气压校正值反馈给信号处理器，以实现电控调压阀组件的闭环控制。本发明实现了多种气压功能的控制输出及输出气压的反馈控制，具有自动化程度高、操作简便、通用性强等优点。

主权项

一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统，其特征在于，该控制系统包括气源调节单元、信号处理单元和信号反馈单元，其中：所述气源调节单元包括依次相连的气源组件、电磁阀组件、电控调压阀组件和气压输出口，输入的气源经气源组件过滤处理后，依次通过电磁阀组件、电控调压阀组件和气压输出口，并由气压输出口输出；所述气源调节单元共设有真空实现回路、同压实现回路和多路正压实现回路三个回路，以分别实现真空、同压和多路正压的压力输出；所述信号处理单元包括信号处理器、电磁阀控制器和调压阀控制器，输入的控制信号经信号处理器处理后，获得电磁阀控制信号和调压阀控制信号；电磁阀控制器根据电磁阀控制信号控制电磁阀组件，以控制系统中气路的通断；调压阀控制器根据调压阀控制信号控制电控调压阀组件调节气压；所述信号反馈单元包括温度传感器和气压传感器组件，其用于将气路中的气压校正值反馈给信号处理器，以实现电控调压阀组件的闭环控制。