用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置及检测方法，包括：设置于水平工作面上的载物台、能够往复运动的自动滑台、用于计算得出触发式测头重复精度的信号处理模块、用于分别测量自动滑台运动位置坐标的触发式测头和激光干涉仪线性测量组件；所述的触发式测头和激光干涉仪线性测量组件用于分别将测得的位置坐标值记录，并传输给测头信号处理模块。本发明所述的用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置及检测方法，有效的避免了在机测量中预行程误差及测量余弦误差，以便对高精度触发式测头精度的分析和误差补偿。

主权项

一种用激光干涉仪检测高精度触发式测头重复精度的装置，其特征在于包括：设置于水平工作面上的载物台(1)、能够往复运动的自动滑台(2)、用于计算得出触发式测头(3)重复精度的信号处理模块(6)、用于分别测量自动滑台(2)运动位置坐标的触发式测头(3)和激光干涉仪线性测量组件(5)；所述的触发式测头(3)和激光干涉仪线性测量组件(5)用于分别将测得的位置坐标值记录，并传输给测头信号处理模块(6)。