一种激光诱导击穿光谱分析仪

摘要

本发明涉及一种激光诱导击穿光谱分析仪，能够同时进行至少一个成分的特征谱线的检测与分析，包括一滤波系统，对多波长复合光谱的光线进行分离，滤波系统包括：第一透镜组，衍射光栅和滤波元件，滤波元件至少包括一个入射/出射面和两个具有反射功能的表面，入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后，被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收，其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰。

主权项

一种激光诱导击穿光谱分析仪，能够同时进行至少一个成分的特征谱线的检测与分析，包括：激光光源系统，其发出高能量脉冲激光通过透镜聚焦到样品表面；样品台，承载待测样品，被烧蚀的样品形成激光诱导等离子体，向四周发射多波长复合光谱的光线；光线收集端子，用于收集所述发射的多波长复合光谱的光线，并将其全部引导至滤波系统；光线分离端子，用于采集经所述滤波系统滤波后的所需波长的光线，并将其引导至光电检测器；其特征在于：所述滤波系统，对所述发射的多波长复合光谱的光线进行分离，滤波系统包括：第一透镜组，衍射光栅和滤波元件，滤波元件至少包括一个入射/出射面和两个具有反射功能的表面，入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后，被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收，其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰。