一种辉光放电射流等离子体生成结构

摘要

本发明公开了一种辉光放电射流等离子体生成结构，包括一绝缘介质，绝缘介质开设有容纳工作气体通过的通孔，通孔外侧对称设置有接地电极，接地电极通过接地接线端子与工作电源连接；还包括通过高压接线端子与工作电源连接的高压电极，高压电极横穿通孔并与通孔截面呈交叉设置，高压电极位于通孔的部分处于通孔外侧接地电极之间；工作气体通过通孔导入，在通孔内的强电场作用下发生辉光放电，产生的等离子体在通孔的出口处喷射形成射流等离子体。本发明在相同的技术条件下能够产生均匀的非惰性气体辉光放电射流等离子体，从而能够使等离子体中的活性粒子得到充分利用，在材料处理和生物医学的应用中得到更加广泛的应用推广。

主权项

一种辉光放电射流等离子体生成结构，其特征在于，包括一绝缘介质(101)，绝缘介质(101)开设有容纳工作气体通过的通孔(104)，通孔(104)外侧对称设置有接地电极(103)，接地电极(103)通过接地接线端子(113)与工作电源连接；还包括通过高压接线端子(112)与工作电源连接的高压电极(102)，高压电极(102)横穿通孔(104)并与通孔(104)截面呈交叉设置，高压电极(102)位于通孔(104)的部分处于通孔外侧接地电极(103)之间；工作气体(107)通过通孔(104)导入，在通孔(104)内的强电场作用下发生辉光放电，产生的等离子体在通孔(104)的出口处喷射形成射流等离子体(108)。