发明名称 AIR KNIFE UNIT OF SLIT NOZZLE TYPE
摘要 본 발명은 액절대상체 건조 공기의 원활한 배기 구조 및 건조 공기 분사 노즐 출구 측으로의 액절대상체 간섭 방지 구조를 갖는 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛에 관한 것이다. 이를 구현하기 위하여, 본 발명에 따른 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛은, 좌우 일정 길이를 갖는 바디; 상기 바디에 이의 길이방향을 따라 길게 상하 관통 형성되는 에어슬릿노즐; 상기 바디의 전단부(前端部)에 상기 바디의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체 이송용 롤러들이 배치되기 위한 프론트공간부를 갖는 다수의 프론트가이드; 및 상기 바디의 후단부(後端部)에 상기 바디의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 사이사이에 액절대상체 이송용 롤러들이 배치되기 위한 리어공간부를 갖는 다수의 리어가이드;를 포함하여 이루어지되, 상기 프론트공간부 또는 상기 리어공간부, 또는 이들 모두에는 상방으로 경사진 에어슬로프가 형성되어 있어, 상기 에어슬릿노즐을 통해 토출되어 액절대상체에 분사된 에어의 배출이 용이하게 이루어지도록 구현한다.
申请公布号 KR101647310(B1) 申请公布日期 2016.08.10
申请号 KR20140192053 申请日期 2014.12.29
申请人 주식회사 케이씨엠텍 发明人 김영환
分类号 H01L21/02;H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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