发明名称 UNDERLAYER COMPOSITION FOR PROMOTING SELF ASSEMBLY AND METHOD OF MAKING AND USING
摘要 본원에는 하지층 조성물이 개시되고, 여기서 하지층은 통상적으로 자기 조립된 구조체의 형성을 촉진하기 위해 사용되고, 여기서 하지층 제제가 (a) 하기 구조 (I)를 갖는 하나 이상의 단량체 반복 단위를 포함하는 중합체:상기 식에서, X는 하기 화학식 (II), (III), (IV), (V)로부터 선택되는 가교결합성 기이고,상기 식에서, n은 0-5이고, p는 0-5이고, q는 1-2이고, m은 1-2이고, R은 H, C-C알킬, 또는 트리 (C-C알킬)실릴이고, (b) 하나 이상의 열산 발생제; 및 (c) 용매를 포함한다. 본 발명은 상기 조성물의 제조 및 사용 방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160095137(A) 申请公布日期 2016.08.10
申请号 KR20167018269 申请日期 2014.12.08
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L. 发明人 YI YI;YIN JIAN;LIN GUANYANG
分类号 G03F7/11;C09D133/12;C09D137/00;C09D143/04;G03F7/00;G03F7/16 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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