应变层松弛用补强层

摘要

本发明涉及一种用于使应变材料层松弛的方法，所述方法包括提供应变材料层和在所述应变材料层的第一面上形成的低粘性层；在应变材料层的与所述第一面相反的第二面的至少一部分上形成补强层，由此形成多层叠层；和对所述多层叠层进行热处理，由此至少部分地使应变材料层松弛。

主权项

用于使应变材料层松弛的方法，所述方法包括：提供应变材料层和形成于所述应变材料层的第一面上的包含至少一个柔性层的包埋层；在所述应变材料层的与所述第一面相反的第二面的至少一部分上形成补强层，所述补强层被部分地提供在所述应变材料层的顶部，以暴露出所述应变材料层的所述第二面的横向边缘，由此形成多层叠层；其中，所述补强层能够部分地阻碍所述补强层下面的应变材料层的松弛；和在高于所述柔性层的材料的玻璃化转变温度的温度下对所述多层叠层进行热处理，由此使所述应变材料层的未被所述补强层覆盖的部分松弛；其中，形成补强层的步骤包括在所述应变材料层上沉积作为连续层的所述补强层，随后使所沉积的补强层图案化，使得从所述应变材料层上部分除去所述补强层；其中，随后进行的使所述补强层图案化的步骤和对所述多层叠层进行热处理的步骤依此顺序重复至少一次。