高铁含量的三维立体蒸镀掩模板

摘要

本发明涉及一种高铁含量的三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板的材料包括铁和镍两种元素；所述铁元素的含量为56%～62%，所述镍元素的含量为38%～44%。本发明提供的高铁含量的三维立体蒸镀掩模板,具有凹陷区域和凸起区域，包括铁和镍两种元素，板面光亮度好，镀层表面质量好，无麻点、针孔，凸起区域不易脱落成本低，工艺简单，节省能源开口精度高，开口质量好，孔壁光滑，具有广阔的市场前景。

主权项

一种高铁含量的三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板的材料包括铁和镍两种元素构成；所述铁元素的质量百分比为56%～62%，所述镍元素的质量百分比为38%～44%；掩模板的三维立体结构主要起到封装作用，即把ITO 基板上已蒸镀的有机材料封装在一起，避开原已蒸镀的有机材料层，并在掩模板三维立体结构四周的开口涂敷封框胶；所述三维立体结构与ITO 基板接触紧贴的一面为凹陷区域，提供避开的空间；所述凹陷区域在掩模板的一面，所述凸起区域在掩模板的另一面，所述凹陷区小于所述凸起区域。