激光加工装置及其方法

摘要

本发明是关于一种激光加工装置及其方法。本发明涉及的激光加工装置，其特征在于，包括：生成激光束（110）的激光部（100）；调节来自激光部（100）的激光束（110）的偏振方向的波片（200）；将经由波片（200）的激光束（110）分成第一激光束（111）和第二激光束（112）的偏光片（300）；反射第二激光束（112）的多个反射部（400）；放大第二激光束（112）的激光束放大部（500）；用于聚焦第一激光束（111）及通过多个反射部（400）和激光束放大部（500）的第二激光束（113）的聚焦透镜（600）；以及安放加工对象（700）的加工部；利用第一激光束（111）和被放大的第二激光束（113），分别对加工对象（700）的不同位置进行加工。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光部，生成激光束；波片，用于调节来自所述激光部的激光束的偏振方向；偏光片，将经由所述波片的激光束分成第一激光束和第二激光束；多个反射部，反射所述第二激光束；激光束放大部，放大所述第二激光束；聚焦透镜，用于聚焦所述第一激光束及通过所述多个反射部和所述激光束放大部的所述第二激光束；聚光透镜，配置在所述偏光片和所述聚焦透镜之间；以及加工部，用于安放加工对象；经由所述聚光透镜的所述第一激光束和被放大的所述第二激光束在所述加工对象的不同位置分别形成激光束聚焦点，利用所述第一激光束和被放大的所述第二激光束，分别对加工对象的不同位置进行加工，调节所述第二激光束被放大的尺寸的同时，通过调节所述聚光透镜和所述聚焦透镜之间的距离，调节所述激光束聚焦点被连接的距离，从而能够调节所述加工对象的被加工厚度。