发明名称 用于显微镜的低试样绞手,制冷器和热流减速器
摘要 本发明涉及用于显微镜的低样本绞手和制冷器领域,以及包括所述绞手的显微镜。本发明涉及显微镜领域,具体涉及电子显微镜和聚焦离子束显微镜(EM和FIB)。然而,它的应用原则上可以扩展到显微镜的任何领域,尤其在样本被冷却或需要冷却的情况下。
申请公布号 CN105849853A 申请公布日期 2016.08.10
申请号 CN201480066075.8 申请日期 2014.12.02
申请人 代尔夫特理工大学 发明人 昂德里克·威廉·赞德伯根
分类号 H01J37/20(2006.01)I 主分类号 H01J37/20(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 董科
主权项 用于提供机械和温度稳定性的低样本绞手(100),允许迅速并可控的改变样本温度,其特征在于,所述绞手包括:(i)一内部区域(13b)和(ii)一外部区域(13a),其中所述外部区域包括用于支撑所述内部区域的支撑件(43a,b,c),并且其中所述支撑件为热绝缘材料,(iii)一连接所述内部区域的冷流稳定器(70),(iv)一第一加热器(21),用于维持所述内部区域在一个预定温度(T5)或加热所述内部区域至一个预定级别,其中所述第一加热器包括一温度传感器(31),能够监测温度的大约毫开尔文的变化,软件和一热调节器(81),(v)一第二加热器(22),用于维持所述外部区域在一个预定温度(T1),和一热流量减压器(97),用于最小化从外部区域到一尖端的热流。
地址 荷兰代尔夫特