发明名称 |
一种嵌入硅基板芯片封装结构及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种嵌入硅基板芯片封装结构及其制作方法。嵌入硅基板芯片封装结构包括硅基体,硅基体具有相对设置的第一表面与第二表面。第一表面上开设有穿透第二表面的至少一个容纳槽,容纳槽内容纳有至少一片芯片,芯片含至少一个焊垫的一侧与第一表面位于芯片的同一侧。芯片的四周侧壁与容纳槽相对应的侧壁之间填充有介质层一,第一表面上铺有覆盖芯片的介质层二。芯片的至少一个焊垫经过金属导线电性连接到硅基体上。芯片不含焊垫的一面暴露于硅基体的第二表面。本发明可以大大增强芯片的散热效果,同时使嵌入硅基板芯片封装结构的体积进一步减小。本发明还公开所述嵌入硅基板芯片封装结构的制作方法。 |
申请公布号 |
CN105845643A |
申请公布日期 |
2016.08.10 |
申请号 |
CN201610407904.5 |
申请日期 |
2016.06.12 |
申请人 |
华天科技(昆山)电子有限公司 |
发明人 |
于大全;豆菲菲 |
分类号 |
H01L23/31(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种嵌入硅基板芯片封装结构,其包括硅基体(1),硅基体(1)具有相对设置的第一表面(101)与第二表面(102);其特征在于:第一表面(101)上开设有穿透第二表面(102)的至少一个容纳槽(8),容纳槽(8)内容纳有至少一芯片(2),芯片(2)含至少一个焊垫(201)的一侧与第一表面(101)位于芯片(2)的同一侧;芯片(2)的四周侧壁与容纳槽(8)相对应的侧壁之间填充有介质层一(9),第一表面(101)上铺有覆盖芯片(2)的介质层二(4);芯片(2)的至少一个焊垫(201)经过金属导线(5)电性连接到硅基体(1)上;芯片(2)不含焊垫(201)的一面暴露于硅基体(1)的第二表面(102)。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市经济开发区龙腾路112号 |