用于透射电子显微镜能谱法的检测器系统

摘要

本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。

主权项

一种用于透射电子显微镜（300）的电子检测系统，其包括：第一传感器（234），其用于检测已穿过样品（214）的电子的图样；以及第二传感器（302），其用于检测所述电子的图样的位置，所述第二传感器提供反馈以便调节所述图样在第一检测器上的位置，其中，第二传感器（302）被放置在第一传感器（234）后方并且检测出离第一传感器（234）的背面的电子；以及其中，第二传感器（302）沿垂直轴方向的长度小于第一传感器（234）沿垂直轴方向的长度的二分之一。