一种射频CO₂激光器及其非稳-波导混合腔

摘要

本发明公开了一种射频CO2激光器及其非稳‑波导混合腔，该非稳‑波导混合腔包括波导系统和光学反馈系统,所述波导系统包括一对平板电极，所述光学反馈系统包括与所述一对平板电极的两个纵向末端相对设置的第一谐振腔镜和第二谐振腔镜，所述一对平板电极的一个纵向末端与所述第一谐振腔镜之间设置有第一波导延伸块，所述第一波导延伸块沿着纵向向所述第一谐振腔镜延伸以增加波导的长度，所述第一波导延伸块为金属材料或电绝缘材料，当所述第一波导延伸块为金属材料时，所述第一波导延伸块与所述一对平板电极之间有电绝缘体隔离。上述结构在减少激光光束在电极与谐振腔间耦合损耗的同时，也使离子体放电对谐振腔镜的污染和破坏较小。

主权项

一种射频CO2激光器的非稳‑波导混合腔，包括波导系统和光学反馈系统,所述波导系统包括一对平板电极，所述光学反馈系统包括与所述一对平板电极的两个纵向末端相对设置的第一谐振腔镜和第二谐振腔镜，其特征在于,所述一对平板电极的一个纵向末端与所述第一谐振腔镜之间设置有第一波导延伸块，所述第一波导延伸块沿着纵向向所述第一谐振腔镜延伸以增加波导的长度，所述第一波导延伸块为金属材料或电绝缘材料，当所述第一波导延伸块为金属材料时，所述第一波导延伸块与所述一对平板电极之间有电绝缘体隔离。