一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统

摘要

本实用新型公开了一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统，通过改进了光路设计，利用纯振幅空间光调制器代替纯相位空间光调制器，可以控制参考光的光强，当参考光强变化时，干涉光强随之变化，若已知振幅型空间光调制器的调制曲线，就可以求得干涉图中的各个信息分量；本系统产生的光强变化大，可以使用普通相机获得干涉数据；本技术方案中，透射型光路不存在入射角度的问题，解决了入射角限制的问题。

主权项

一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统，其特征在于，包括：显微镜装置，用于显微成像；第一透镜组，置于显微镜装置的成像面后面；透射式纯振幅空间光调制器，用于对经过傅里叶变换后的光进行分区域强度调制，放置在第一透镜组的后焦面上；第二透镜组，置于透射式纯振幅空间光调制器后方，与第一透镜组组成4f系统；相机，用于对样品进行成像，置于透镜组的后焦面上。