| 摘要 |
웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자를 검사하기 위한 프로브 카드는 제1 기판 구조물, 제2 기판 구조물, 보강판 및 평탄도 조절 나사를 포함한다. 제1 기판 구조물은 회로 패턴을 갖는다. 제2 기판 구조물은 상기 제1 기판 구조물의 하부에 구비되고, 하부면에 상기 회로 패턴과 전기적으로 연결되는 다수의 탐침들을 갖는다. 보강판은 금속 물질을 포함하며 상기 제1 기판 구조물 상에 배치되는 몸체 및 세라믹 물질을 포함하며 상기 몸체를 덮는 커버를 포함하고, 상기 제1 기판 구조물의 상부면과 결합된다. 평탄도 조절 나사는 상기 보강판의 커버와 상기 제1 기판 구조물을 관통하여 체결되며, 상기 제2 기판 구조물의 평탄도를 조절한다. |
