一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器

摘要

本实用新型公开了一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，其具有四支撑悬梁，其四层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热电极层、敏感膜层，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性连接，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺寸逐渐增大。与现有技术相比，其具有四支撑悬梁的结构易于通过调节和控制工作温度来提高传感器的性能；并且其采用两层以上敏感膜作为敏感膜层，可以提高气体传感器的灵敏度和选择性。

主权项

一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，所述电阻式气体传感器的四层结构自下而上依次为：硅衬底框架，其内凹形成隔热腔体，所述硅衬底框架上分布有供电电极、探测电极；加热膜层，其包括加热膜区和支撑悬梁，所述加热膜层悬浮于所述隔热腔体的上方，所述加热膜区通过四根支撑悬梁与硅衬底框架连接；加热电极层，其包括加热电阻丝、供电引线、叉指电极和探测引线，所述加热电阻丝以折线形式排布在所述加热膜区上，所述叉指电极排布在所述加热电阻丝的间隙中，所述供电引线和探测引线排布在所述支撑悬梁上；敏感膜层，其覆盖在所述加热电极层上，并且与所述叉指电极电性连接；其特征在于，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性连接，所述各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺寸逐渐增大；所述加热膜区的形状为矩形结构，所述四根支撑悬梁的每一端以中心对称的方式与所述加热膜区的四个顶角相连，所述四根支撑悬梁的另一端与所述衬底框架连接。