用于运行测压转换器的方法以及测压转换器

摘要

本发明涉及一种用于运行测压转换器的方法以及具有压力传感器(23)的测压转换器，该压力传感器具有柔软的测量膜(2)和基体(3)，在该测量膜和该基体之间包围有具有参考压力的腔体(20)。通过驱控和评估装置(25)，在测压模式下测定作为具有两个电极(21，22)的测量电容器的第一电容器的电容量，以及测定作为具有布置在边缘区域的电极(22，24)的参考电容器的第二电容器的电容量，并且依据测定的电容量来计算介质压力(P)的测量值。在诊断模式下测定并评估诊断电容器的电容量，该诊断电容器由测量电容器的电极(21)和参考电容器的布置在同一面上的电极(24)构成。这以有利的方式在很大程度上与相应的介质压力(P)并且与测量膜(2)的设定的曲线无关。借助诊断电容器能够检测腔体(20)中的相对空气湿度的变化和/或通过缝隙(32)进入的过程介质(33)。因此，警告信号能够在即将发生故障时及时地产生并且输出到维护设备。

主权项

一种用于运行具有压力传感器(23)的测压转换器的方法，其中，所述压力传感器(23)具有柔软的测量膜(2)和基体(3)，在所述测量膜和所述基体之间包围有具有参考压力的腔体(20)，其中，所述测量膜(2)的偏移取决于介质压力(P)和所述参考压力，所述介质压力在介质侧作用在所述测量膜(2)上，其中，为了检测所述测量膜(2)的所述偏移而设置有至少一个第一电容器，所述第一电容器具有两个带有依据所述偏移而变化的电极间距的、布置在所述测量膜(2)的或所述基体(3)的中间区域中的电极(21，22)，并且其中，设置有至少一个第二电容器，所述第二电容器具有两个布置在所述测量膜(2)的或所述基体(3)的边缘区域中的电极(22，24)，其特征在于，测定并且为了诊断所述测压转换器而评估诊断电容器的电容量，所述诊断电容器由所述第一电容器的电极(21)和所述第二电容器的布置在同一面上的电极(24)构成。