发明名称 | 一种蒸镀设备 | ||
摘要 | 本实用新型提供一种蒸镀设备,属于显示技术领域,其可解决现有的蒸镀设备热传导效率低,易堵塞坩埚口的问题。本实用新型的蒸镀设备中,至少部分加热丝设于坩埚壁处,通过给加热丝通电,将电能转化为热能,相当于在坩埚壁处增加热交换,提高热传导效率,同时可以使得坩埚内的蒸镀材料受热均匀,不会堵塞坩埚口,蒸镀工艺稳定。此外,还能通过加热丝固定坩埚的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。 | ||
申请公布号 | CN205420533U | 申请公布日期 | 2016.08.03 |
申请号 | CN201620248835.3 | 申请日期 | 2016.03.25 |
申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 万想;孙力 |
分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 柴亮;张天舒 |
主权项 | 一种蒸镀设备,包括坩埚和加热丝,所述坩埚包括坩埚底和坩埚壁,其特征在于,至少部分加热丝设于所述坩埚壁处。 | ||
地址 | 230012 安徽省合肥市新站区工业园内 |