SEMICONDUCTOR STRUCTURE WITH TWO OPTICALLY COUPLED RESONANT CAVITIES AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A STRUCTURE

摘要

L'invention concerne une structure semiconductrice (10) destinée à recevoir une onde électromagnétique. La structure semiconductrice (10) comporte au moins une première cavité (110) optique résonnante semiconductrice conformée pour absorber au moins partiellement l'onde électromagnétique et pour fournir un signal électrique proportionnel à la partie de l'onde électromagnétique absorbée. La structure semiconductrice (10) comprend en outre une deuxième cavité (120) optique résonante diélectrique dont une longueur d'onde de résonnance est comprise dans la gamme de longueurs d'onde prédéterminée et est préférentiellement égale à la longueur d'onde » 0 , la deuxième cavité (120) étant agencée pour intercepter au moins une partie de l'onde électromagnétique et étant couplée optiquement à la première cavité (110). La deuxième cavité (120) est transparente à la gamme de longueurs d'onde prédéterminée. L'invention concerne en outre un composant semiconducteur (1) comportant une telle structure semiconductrice (10) et un procédé de fabrication d'une telle structure semiconductrice (10).