一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。两个电极激发出的电场非对称分布，抑制纵波模式谐振和声表面波、次表面波等寄生杂波的产生，提高剪切波模式谐振的品质因数，从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。

主权项

一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对，其特征在于，电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同；电极对中两个电极的内侧边缘沿垂直外侧边缘方向的间隔距离为电极长度的四十分之一至二十分之一；同一电极的内侧边缘与其外侧边缘之间沿垂直外侧边缘方向的间隔距离为电极长度的三十分之一至十分之一。