光学成像装置

摘要

提供了一种光学成像装置，它包括：具有图案的掩模单元；包括基板的基板单元；包括一组光学元件单元的光学投影单元，所述光学投影单元用来将图案的图像转印到所述基板上；成像装置第一部件，该成像装置第一部件所述光学元件单元的第一个的部件；成像装置第二部件，该成像装置第二部件与成像装置第一部件不同并且为所述光学元件单元的第二个的部件；以及度量装置。度量装置捕获在成像装置第一部件和成像装置第二部件之间的空间关系。度量装置包括基准结构。

主权项

一种光学成像装置，包括：用来接收图案的掩模单元；用来接收基板的基板单元；包括一组光学元件单元的光学投影单元，所述光学投影单元用来将所述图案的图像转印到所述基板上；成像装置第一部件，所述成像装置第一部件为所述光学元件单元的第一个的部件；成像装置第二部件，所述成像装置第二部件与成像装置第一部件不同并且为所述光学元件单元的第二个的部件；以及度量装置；所述度量装置捕获所述成像装置第一部件和所述成像装置第二部件之间的空间关系，所述度量装置包括基准结构，所述度量装置捕获所述成像装置第一部件和所述基准结构之间的第一空间关系；所述度量装置捕获所述成像装置第二部件和所述基准结构之间的第二空间关系；所述度量装置利用所述第一空间关系和所述第二空间关系来确定所述成像装置第一部件和成像装置第二部件之间的空间关系。