发明名称 | 一种存储器装置及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种存储器装置及其制造方法,存储器装置具有各种黏合层厚度的受覆盖接垫结构,存储器装置制造方法包含形成底黏合层在一穿孔中,穿孔是形成在隔离层中;形成一底导电塞在底黏合层中;形成一顶黏合层在底黏合层及底导电塞上;形成一顶导电塞在顶黏合层中;其中,底及顶黏合层的厚度可互不相同。 | ||
申请公布号 | CN105826467A | 申请公布日期 | 2016.08.03 |
申请号 | CN201610007750.0 | 申请日期 | 2016.01.06 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 林昱佑;李峰旻 |
分类号 | H01L45/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
主权项 | 一种存储器装置,包括:一顶电极;一金属氧化层,接触该顶电极;一中间层导体,具有一电极表面,接触该金属氧化层;其中该中间层导体包含一上部及一下部,该上部包含该电极表面;其中该下部包含一第一导电垫(1iner)及一第一导电塞(plug),该第一导电塞位于该第一导电垫中,且该上部包含一第二导电垫及一第二导电塞,该第二导电塞位于该第二导电垫中;及其中该第二导电垫包含多个侧壁部分,该第二导电垫的这些侧壁部分的一厚度不同于第一导电垫的多个侧壁部分的一厚度。 | ||
地址 | 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |