射频阻抗自动匹配装置及方法

摘要

本发明提供一种射频阻抗自动匹配装置及方法，其中，射频阻抗自动匹配装置包括：第一真空电容器、第二真空电容器、第一真空电容器位置信号变送器、第二真空电容器位置信号变送器、单片机、第一真空电容器驱动机构、第二真空电容器驱动机构、功率计和功率信号变送器。本发明能够通过实时比较第一、第二真空电容器的极板位置在调整前和调整后的等离子体负载的反射功率大小，并存储最优即反射功率值最小的值及对应的第一、第二真空电容器的极板位置，使得单片机能即时更新负载数学模型，从而实现等离子体负载的快速匹配，同时能够避免射频电源过载并实现内存的最优化配置。

主权项

一种射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，包括：第一真空电容器、第二真空电容器、第一真空电容器位置信号变送器、第二真空电容器位置信号变送器、单片机、第一真空电容器驱动机构、第二真空电容器驱动机构、功率计和功率信号变送器，其中，所述第一、第二真空电容的输出端分别与所述第一、第二真空电容器位置信号变送器的输入端连接，所述第一、第二真空电容位置信号变送器的输出端分别与所述单片机的输入端连接，所述单片机的输出端分别与所述第一、第二真空电容器驱动机构的输入端连接，所述第一、第二真空电容器驱动机构的输出端分别与所述第一、第二真空电容器的输入端连接，所述功率计的输入端与第一、第二真空电容器的输出端连接，所述功率计的输出端与所述功率信号变送器的输入端连接，所述功率信号变送器的输出端与所述单片机的输入端连接。