发明名称 非連続的なトポグラフィーを有する微細構造化ツールを作成するための方法、及びこれにより製造される物品
摘要 Methods for making a microstructured tool having interspersed topographies are disclosed, and the production of articles therefrom.
申请公布号 JP5964953(B2) 申请公布日期 2016.08.03
申请号 JP20140513570 申请日期 2012.05.23
申请人 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 发明人 オレスター ベンソン,ジュニア
分类号 B29C33/38;H01L21/027 主分类号 B29C33/38
代理机构 代理人
主权项
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