发明名称 |
非連続的なトポグラフィーを有する微細構造化ツールを作成するための方法、及びこれにより製造される物品 |
摘要 |
Methods for making a microstructured tool having interspersed topographies are disclosed, and the production of articles therefrom. |
申请公布号 |
JP5964953(B2) |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
JP20140513570 |
申请日期 |
2012.05.23 |
申请人 |
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー |
发明人 |
オレスター ベンソン,ジュニア |
分类号 |
B29C33/38;H01L21/027 |
主分类号 |
B29C33/38 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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