带电粒子束装置的改进和涉及带电粒子束装置的改进

摘要

本发明涉及带电粒子束装置的改进和涉及带电粒子束装置的改进。在一种例如电子显微镜的带电粒子束设备中，射束生成装置(101)产生聚焦的带电粒子束e‑，该带电粒子束入射在样品室(102)中的样品(104)上，该样品室(102)将该样品保持在气体环境中。压强限制孔(144)提供样品室与射束生成装置的局部气体隔离，并且被设置在后者的透镜(114)中。该设备包括管道，例如在该透镜中的中间室(132)，在使用中，通过该管道，气体被供应以形成从透镜的区域朝向样品的气流，因此防止从样品释放的材料碰撞在压强限制孔上，以防止后者的污染。该设备可被用于用带电粒子束扫描样品的方法中，例如用在电子显微镜检查的方法中。

主权项

一种带电粒子束设备，包括用于产生聚焦的带电粒子束的射束生成装置；用于容纳样品以在气体环境中与该聚焦的带电粒子束相互作用的样品室；用于提供样品室与射束生成装置的局部气体隔离的压强限制孔，该射束生成装置具有用于聚焦该聚焦的带电粒子束的透镜，该透镜包括中间室，其中该带电粒子束设备进一步包括气体入口装置，该气体入口装置用于使得气体能够被供应到中间室以建立从透镜朝向样品的气流，从而防止从样品所释放的材料撞击在压强限制孔上，并且其中该设备进一步包括用于允许气体进入样品室的阀和用于调整所述阀的系统控制装置，所述系统控制装置被配置为调整所述阀以在所述样品室中将气压保持在1Pa至400Pa的范围内。