| 发明名称 | 一种用于板式PECVD设备的石墨框 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的方格孔；石墨框的4条边上均设有复数个顶针结构；且位于石墨框四周边缘的方格孔内具有至少1个顶针结构，使其内放置的硅片高出方格孔所在的水平面。本实用新型使石墨框四周边缘的方格孔内的硅片与石墨框之间保持一定的距离，从而避免了电池片与石墨框之间的鞘层效应，并以此达到改善上镀膜边缘色差和效率偏低的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN205420543U | 申请公布日期 | 2016.08.03 |
| 申请号 | CN201520714692.6 | 申请日期 | 2015.09.15 |
| 申请人 | 盐城阿特斯阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 袁中存;党继东;张标;沈波涛 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人 | 陆金星 |
| 主权项 | 一种用于板式PECVD设备的石墨框，包括复数个承载硅片的方格孔(1)；其特征在于：石墨框的4条边(3)上均设有复数个顶针结构(4)；且位于石墨框四周边缘的方格孔内具有至少1个顶针结构，使其内放置的硅片高出方格孔所在的水平面。 | ||
| 地址 | 224000 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 | ||