压电马达、驱动装置、机器人及打印机

摘要

本发明提供压电马达、驱动装置、机器人及打印机。压电马达特征在于，具备：压电元件、包括压电元件的振动板、设置于振动板的端部的驱动突起部以及与驱动突起部抵接并被驱动的被驱动体，驱动突起部的杨氏模量（E1）与被驱动体的杨氏模量（E2）不同。

主权项

一种压电马达，其特征在于，具备：包括压电元件并进行振动的振动部；设置于所述振动部并从所述振动部突出的驱动突起部；以及所述驱动突起部抵接的被驱动体，所述驱动突起部的杨氏模量E1与所述被驱动体的杨氏模量E2的关系为：E1≠E2，所述驱动突起部和所述被驱动体含有氧化镁(MgO)以及氧化铝(Al₂O₃)，至少从相互抵接的各自的表面部到200nm的深度的区域的杨氏模量为所述杨氏模量E1或者所述杨氏模量E2。