| 主权项 |
一种玻璃基板检查系统，具备对盒进行拍摄的摄像装置、将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用所述取出装置从所述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，所述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置和在各收纳位置插入玻璃基板的槽部，其特征在于，所述玻璃基板检查系统具有通过在由所述摄像装置拍摄的图像中设定与多个所述收纳位置对应的多个处理区域，对各处理区域进行图像处理，从而在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板的有无判定部，和通过各处理区域的图像处理，在每个所述收纳位置对收纳在所述收纳位置的所述玻璃基板的板厚是否在规定范围内进行判别的板厚判别部，所述玻璃基板检查系统具有在每个所述收纳位置使所述取出装置进行从所述收纳位置取出所述玻璃基板的动作的实行部，且所述摄像装置具有对位于输送路径上的停止位置的对所述盒进行拍摄的相机、和对位于所述停止位置的所述盒进行照射的光源，所述板厚判别部根据收纳在所述收纳位置的所述玻璃基板的将来自光源的光朝相机反射的光反射部分的图像，对收纳在所述收纳位置的所述玻璃基板的板厚是否在规定范围内进行判别，对于由所述有无判定部判定为无所述玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作，且对于由所述板厚判别部判别为所述板厚在规定范围外的玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。 |
