微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器

摘要

本发明的微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器利用一个较小电感量的平面螺旋电感和八个较小电容值的MIM电容实现了具有十六状态的中心频率和带宽的变化，从而突破了传统可重构带通滤波器中电感数量多且电感量较大的限制。通过在一个平面螺旋电感的左右两侧依次对称放置两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容，构成π型微波带通滤波器；将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间；四个由引线连接的MIM电容分别具有不同的电容值；通过四个MEMS悬臂梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接，实现该滤波器的可重构变化。

主权项

一种微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器，其特征在于：在砷化镓衬底(19)上面设有CPW(1)，CPW(1)的中间位置是CPW信号线，CPW信号线的两侧是CPW地线，平面螺旋电感(2)位于该滤波器平面的中间，在平面螺旋电感(2)的左右两侧依次对称放置两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)以及两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)，构成π型拓扑结构形式的微波带通滤波器；四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)对称放置在平面螺旋电感(2)的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)之间，同时在平面螺旋电感(2)的左右两侧的任意一侧的两个由引线连接的第五MIM电容(7)和第七MIM电容(9)，或第六MIM电容(8)和第八MIM电容(10)沿CPW信号线的前后两侧对称放置；所述的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)分别具有不同的电容值；四条引线(12)分别串联连接四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)，其中每条引线(12)的一端与CPW信号线相连接，而另一端靠近CPW地线且在其末端上制作一个凸点(13)；四个MEMS悬臂梁(14)分别横跨在四条引线(12)末端的凸点(13)上方；在每个MEMS悬臂梁(14)下方引线(12)的附近放置一个驱动电极(15)，该驱动电极(15)通过一条连接线(16)与CPW地线外侧的压焊块(17)相连接；在MEMS悬臂梁(14)下方驱动电极(15)上覆盖Si₃N₄绝缘介质层(11)；从而通过利用一个π型拓扑结构形式的微波带通滤波器以及四个MEMS悬臂梁(14)是否接触引线上的凸点来分别控制四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)是否与CPW地线相连接，实现了该可重构微波带通滤波器的十六状态的中心频率和带宽的改变。