一种共享检测电容的三轴电容式加速度计

摘要

本发明公开了一种共享检测电容的三轴电容式加速度计，包括一个质量块，固定锚点，基底，还包括四个检测电容，其中每个检测电容均包括固定梳齿和可动梳齿；所述质量块，通过与之对应的固定锚点固定于基底，用于在施加一轴向的加速度时，产生与该加速度相对应的运动；所述四个检测电容的可动梳齿连接至上述质量块，用于在施加一轴向的加速度时，其可动梳齿随上述质量块运动，产生针对该轴向加速度的特定电容值的变化。本发明所涉及的共享检测电容的三轴电容式加速度计能够达到减小微机电芯片的面积，简化检测电容的检测方式以及提高加速度计的灵敏度的目的。

主权项

一种共享检测电容的三轴电容式加速度计，包括一个质量块，固定锚点，基底，其特征在于：还包括四个检测电容，其中每个检测电容均包括固定梳齿和可动梳齿；所述质量块，通过与之对应的固定锚点固定于基底，用于在施加一轴向的加速度时，产生与该加速度相对应的运动；所述四个检测电容的可动梳齿连接至上述质量块，用于在施加一轴向的加速度时，其可动梳齿随上述质量块运动，产生针对该轴向加速度的特定电容值的变化。