一种用于开口容器的CVI致密化的气体管路结构

摘要

本实用新型公开了一种用于开口容器的CVI致密化的气体管路结构，特别适用于小开口复杂容器，具体是在容器本身的小开口处插入一根导气管，导气管直接插入到容器底部，导气管上分布有均匀的通气孔，并且导气管里内嵌一根排气管，作为尾气排出通道，有一个总的导气管和总的排气管，分别连接N个容器的支导气管和支排气管，总导气管外接口连接炉子的进气管，总排气管连接到真空泵，可以一炉次沉积多个小开口容器，提高致密化效率。

主权项

一种用于开口容器的CVI致密化的气体管路结构，其特征在于：包括总进气管、与总进气管连接的n个导气管、与n个导气管一一对应的n个排气支管、与n个排气支管连接的总排气管，其中n≥1,所述总进气管引入沉积炉的部分反应气体，所述总排气管排出尾气。