石墨烯制备系统及方法

摘要

本发明披露一种石墨烯制备系统及方法，相异于现有技术利用单一供气循环来对工件进行各气体的输送，本发明提出了一种在沉积过程中，通过间断式重复调整输入气体的输入量，以多循环供气来有效降低石墨烯的片电阻值的方法。

主权项

一种石墨烯制备方法，用以在工件的表面产生石墨烯结构，其包含有以下步骤：准备炉体，该炉体具有工作腔；准备该工件；准备第一气体、第二气体以及第三气体；将该工件置放于该工作腔中；以第一程序将该第一气体输入该工作腔；以第二程序将该第二气体输入该工作腔；以及以第三程序将该第三气体输入该工作腔；其中，该第一程序包含前置阶段及接续的反应阶段，该反应阶段具有第一区间、第二区间、第三区间及第四区间，该第一气体于该第一区间的输入流量较前置阶段高，该第一气体于该第二区间的平均输入流量较该第一区间低，该第一气体于该第三区间的平均输入流量较该第二区间高，该第一气体于该第四区间的平均输入流量较该第三区间低，藉此使该第一气体经受该炉体内部的高温进行裂解并释出多个碳粒子并于该工件的表面沉积形成该石墨烯结构。