一种多晶硅铸锭用石英坩埚涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氮化硅涂层或氮化硅中添加少量其它不与硅反应的物质组成的混合物涂层，该涂层创造性的采用流延工艺制得；该涂层厚度为0.2-5mm，通过添加硅溶胶及其它陶瓷粘结剂将流延制备的涂层平整的粘在坩埚底部，得到用于生产高纯多晶硅的石英坩埚。该石英坩埚在全熔工艺下，铸造的晶锭少子寿命平均值在5.0-5.8μs,与普通全熔工艺少子寿命相当，晶锭底部红区较普通全熔工艺减少5-15mm,晶锭在统一标准下划线，收益率可提升2%-5%，大大增加铸锭产能。

主权项

一种用于生产高纯多晶硅铸锭的石英坩埚涂层，其特征在于，该涂层成分为氮化硅或氮化硅中添加少量其它不与硅反应的物质组成的混合物，所述的氮化硅涂层或氮化硅中添加少量其它不与硅反应的物质组成的混合物涂层设置在坩埚本体的内底或/和四面内边墙。