一种高精度气体配气装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度气体配气装置，由阀控选择模块和流量控制模块组成。阀控选择模块包括三路分别带有连体常闭进气电磁阀的进气管路、二路分别带有连体常闭出气电磁阀的出气管路、配气选择开关、出气接口选择开关和开关电源。流量控制模块包括二个分别带有出气调节阀的质量流量器、一个阀控选择旋转开关和两个电压表头。本实用新型通过巧妙设置时间延时电路，通过调节多个电磁阀，实现多源源气组合在一起的精确配气，整个设备结构简单，使用方便，利于推广。

主权项

一种高精度气体配气装置，由阀控选择模块和流量控制模块组成；其特征在于，所述阀控选择模块包括三路分别带有连体常闭进气电磁阀的进气管路、二路分别带有连体常闭出气电磁阀的出气管路、配气选择开关、出气接口选择开关和开关电源；所述配气选择开关分别连接控制三路进气管路上的连体常闭进气电磁阀；所述出气接口选择开关分别连接控制二路出气管路上的连体常闭出气电磁阀；所述配气选择开关和出气接口选择开关分别连接开关电源；所述流量控制模块包括二个分别带有出气调节阀的质量流量器、一个阀控选择旋转开关和两个电压表头；所述阀控选择旋转开关分别连接控制两个出气调节阀；所述每个电压表头各自连接一质量流量器；所述三路进气管路中两路作为第一进气管路连接质量流量器，剩下一路进气管路作为第二进气管路连接另一质量流量器。